槽式清洗机

晶圆尺寸：240mm 设备配置：8~12 个槽体, 2~6 个Robot（可定制）可搭载先进超声波, 兆声波，槽体过温保护, 各Module配置漏液传感器多级Wafer保护措施，支持化学液CCSS / LCSS；自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比)；先进Marangoni干燥；加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制；化学液/水, 直排&回收可靠性能：Uptime≥98% Breakage≤1/100000 MTBF≥650 hours MTTR≤3 hours 软件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC等功能

江苏梓恒电子科技有限公司，作为业内解决方案供应商和配件服务商，始终致力于为半导体、光伏以及电子化学品等行业提供耐腐蚀及超纯流体输送管路系统。公司秉持着技术创新与品质至上的理念，不断推动行业发展，成为客户信赖的合作伙伴...

关键词：

晶圆干燥设备 | 氟塑料制品 | 半导体湿法设备

商品名称：槽式清洗机

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产品描述

晶圆尺寸：240mm
设备配置：8~12 个槽体, 2~6 个Robot（可定制）可搭载先进超声波, 兆声波，槽体过温保护, 各Module配置漏液传感器多级Wafer保护措施，支持化学液CCSS / LCSS；自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比)；先进Marangoni干燥；加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制；化学液/水, 直排&回收
可靠性能：Uptime≥98% Breakage≤1/100000 MTBF≥650 hours MTTR≤3 hours
软件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC等功能
设备竞争力：
1、价格优势：成本控制（原材料，人工，售后），利润占比
2、质量：整机运行，零部件质量，装配工艺，设备调试
3、货期：零部件交期，装配时间，调试时间
4、外观：整体美观，细节处理，颜色搭配
5、差异化：兼容定制
6、客户至上：改进装配，改进设计，改进客户反馈
与半导体零部件厂达成深度合作，例如FOUP 陶瓷研磨盘石英管等厂家